1998.03 벤처기업 등록
1998.09 LG반도체와 BEST-MOCVD 공동개발
2000.04 (주)선익 흡수합병
2000.10 전자파 차폐막 코팅 해외 특허출원(미국, 중국)
2001.03 중주파수 Plasma를 이용한 파티클제거… (대만특허출원)
2004.01 대면적 In line sputter, Web coater 장비개발
2004.03 AM OLED 장비 기술개발상 수상 (삼성SDI)
2004.11 삼백만불 수출탑 수상
2005.01 “OLED 증착기” 세계인류상품으로 선정 (산업자원부)
2005.07 ISO9001/14001 품질/환경 경영시스템의 인증 획득
2005.10 미래에셋 컨소시엄 85억 자본 유치